作為的X射線(xiàn)衍射儀供應(yīng)商，布魯克AXS一直致力于為廣大用戶(hù)帶來(lái)前沿的技術(shù)和解決方案。多功能和智能化是現(xiàn)代X衍射儀的發(fā)展方向。近，布魯克AXS公司在廣泛好評(píng)的twin光路的基礎(chǔ)上，再次創(chuàng)造性推出了了符合多功能X衍射儀發(fā)展趨勢(shì)需求的TRIO光路系統(tǒng)。

  配備TRIO光學(xué)系統(tǒng)的X射線(xiàn)衍射儀系統(tǒng)，可實(shí)現(xiàn)從適用于粉末樣品的BB幾何到適合單晶外延薄膜樣品的高分辨單色Ka1平行光路的自由切換。因此，這樣的衍射儀系統(tǒng)能夠滿(mǎn)足所有類(lèi)型的樣品測(cè)試要求，包括粉末，塊體，纖維，非晶，甚至單晶外延薄膜。

▲TRIO光路

 TRIO-光路組成

 ▲自動(dòng)狹縫：傳統(tǒng)的Bragg-Brentano聚焦幾何-粉末樣品

▲Goebel鏡：高強(qiáng)度的平行光幾何-GID，XRR，透射，表面高低不平樣品

▲Goebel鏡+2次反射單色器：高分辨平行光Ka1幾何(HRXRD)-單晶外延膜(RC, 2theta-omega, Phi-Scan, RSM)，Ka1高分辨粉末衍射

 TRIO-應(yīng)用舉例 

1

Bragg-Brentano粉末衍射

  高鐵含量的粉末樣品。得益于布魯克先進(jìn)的能量分辨陣列探測(cè)器，鐵的熒光背底*被去除，大大的提高了衍射圖譜的數(shù)據(jù)質(zhì)量，樣品中的微量物相-石英和Fe3O4-清晰可見(jiàn)。

2

平行光

  (MgZn)O薄片樣品從室溫到1100度升降溫過(guò)程中的相變過(guò)程。由于樣品高度會(huì)隨溫度變化而改變，在傳統(tǒng)的BB幾何中，衍射圖譜向高角度或低角度偏移，這會(huì)影響觀察相變過(guò)程和準(zhǔn)確晶胞參數(shù)的確定。而平行光幾何對(duì)高度變化不敏感，非常適合此類(lèi)樣品的測(cè)試。從上圖可得到，立方主相的晶胞參數(shù)隨溫度變化的范圍為1.2%。在下邊的2D視圖中，除了主相衍射峰位和峰強(qiáng)隨溫度變化外，還可觀察到明顯第二相CuO的出現(xiàn)和消失。

3

GID-掠入射衍射

  利用低角度入射的平行關(guān)，控制X射線(xiàn)在樣品中的穿透深度，使衍射只發(fā)生在樣品表面的一定深度內(nèi)，來(lái)實(shí)現(xiàn)多晶薄膜樣品的測(cè)試。在玻璃襯底上制備的Ag2Te納米薄膜樣品，傳統(tǒng)的BB幾何和平行光GID測(cè)試結(jié)果的對(duì)比，如下圖。GID圖譜中，來(lái)自納米級(jí)薄膜的信號(hào)更加明顯，基本沒(méi)有玻璃襯底的信號(hào)。

4

XRR-X射線(xiàn)反射率

  25nm-Si/50nm-Si0.85Ge0.15/Si外延膜樣品的X射線(xiàn)反射率曲線(xiàn)。利用TRIO光路中的高強(qiáng)度平行光，即使高角度的XRR曲線(xiàn)，信號(hào)也非常明顯。圖中大周期的震蕩條紋，說(shuō)明樣品中表面存在大概3nm左右的SiO2氧化層。

5

HRXRD-高分辨衍射

  LED樣品，GaN襯底上生長(zhǎng)6層InGaN量子阱。利用GaN(0002)峰的2θ/ω圖譜(上圖)準(zhǔn)確確定超晶格的厚度以及In的組分。下邊倒空間強(qiáng)度分布圖(RSM)說(shuō)明InGaN外延薄膜與GaN襯底是共格關(guān)系。